1.InfiniteFocus G5整合了微型三坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)和表面粗糙度測(cè)量系統(tǒng)所有的功能。

2.即使對(duì)于復(fù)雜樣品表面，仍可以獲得高達(dá)10納米的垂直分辨率。

3.新的功能可以很容易通過擴(kuò)展測(cè)量模式整合。

4.LED環(huán)形燈的設(shè)計(jì)，使表面測(cè)量的范圍幾乎不受限制。

5.nfiniteFocus的測(cè)量速度可以達(dá)到170萬點(diǎn)/秒。

6.測(cè)量簡(jiǎn)單且自動(dòng)化程度高，如自動(dòng)更換物鏡等

7.高分辨，高可重復(fù)性和可溯源。