三維表面測量儀是用于測量三維幾何尺寸和形位公差的高精度測量儀器。它克服了傳統(tǒng)投影儀和二維影像測量的不足，是集光學(xué)、機(jī)械、電子、計(jì)算機(jī)圖像處理技術(shù)于一體的高精度、率、高可靠性的測量儀器?？傻貦z測各種復(fù)雜精密零部件的輪廓和表面形狀尺寸、角度及位置，全自動(dòng)地進(jìn)行微觀檢測與質(zhì)量控制。

　　三維表面測量儀的測量系統(tǒng)運(yùn)用了PCB抄板技術(shù)研制而成，它采用白光軸向色差原理（性能優(yōu)于白光干涉輪廓儀與激光干涉輪廓儀）對樣品表面進(jìn)行快速、重復(fù)性高、高分辨率的三維測量，測量范圍可從納米級粗糙度到毫米級的表面形貌，臺(tái)階高度，給MEMS、半導(dǎo)體材料、太陽能電池、醫(yī)療工程、制藥、生物材料，光學(xué)元件、陶瓷和先進(jìn)材料的研發(fā)和生產(chǎn)提供了一個(gè)的、價(jià)格合理的計(jì)量方案。

　　三維表面測量儀廣泛應(yīng)用于汽車、電子、五金、塑膠、模具等行業(yè)中，可以對工件的尺寸、形狀和形位公差進(jìn)行精密檢測，從而完成零件檢測、外形測量、過程控制等任務(wù)。

　　三維表面測量儀的全自動(dòng)測量過程中優(yōu)異的影像識別能力使得全自動(dòng)測量成為可能。批量的產(chǎn)品數(shù)百數(shù)據(jù)可以通過按一個(gè)按鈕實(shí)現(xiàn)自動(dòng)測量和自動(dòng)輸出結(jié)果，改變傳統(tǒng)的依靠經(jīng)驗(yàn)的手動(dòng)測量方式，使自動(dòng)測量的重復(fù)性控制在微米級，極大程度地提高檢測水平，促進(jìn)制造品質(zhì)的提高。

　　可以加裝激光、探針、轉(zhuǎn)臺(tái)等傳感器，實(shí)現(xiàn)一個(gè)坐標(biāo)系下的多元傳感的綜合應(yīng)用，提供了復(fù)雜測量難題的解決方案。

　　使用冷光源系統(tǒng)，可以避免容易變形的工件在測量是因?yàn)闊嶙冃嗡a(chǎn)生的誤差，并避免了由于碰觸引起的變形。

　　工件可以隨意放置，不需找正。不受零件表面紋理和材質(zhì)影響的高度方向的精密測量，實(shí)現(xiàn)真正的非接觸式的3D測量。使得微細(xì)制造的零件在測量高度、平面度及空間角度等位置關(guān)系方面成為可能，并且具有高可靠性的測量準(zhǔn)確性和重復(fù)性。